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作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注。這些要求對(duì)氣體供給系統(tǒng)，也就是被稱(chēng)為關(guān)鍵設(shè)備的質(zhì)量流量控制器來(lái)說(shuō)有很緊密的聯(lián)系。而批量使用搭載了在成本表現(xiàn)方面優(yōu)勢(shì)明顯的電磁閥的質(zhì)量流量控制器，則可完全符合制程要求。
可對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體
警報(bào)輸出功能為其標(biāo)準(zhǔn)搭載
?SEC-E400J
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氣體連接部材質(zhì)
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SUS-316L,Teflon
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磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式
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非通電時(shí):閉標(biāo)準(zhǔn)
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流量范圍
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM
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流量控制范圍
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2?100％ F.S.(全量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(全量程)
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?SEC-E450J
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氣體連接部材質(zhì)
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SUS-316L,Teflon
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磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式
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非通電時(shí):閉標(biāo)準(zhǔn)
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流量范圍
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20/30 SLM
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流量控制范圍
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2?100％ F.S.(全量程)
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流量精度
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±1.0％ F.S.(全量程)
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