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MKS質量流量控制器

1579A高流量質量流量計 控制器

產品分類:MKS質量流量控制器

產品介紹

1579A高流量質量流量計 控制器

1579A是一種通用的彈性密封的大流量的質量流量控制器,可在生產,分析,工業以及測試等多種應用場合測量和控制氣體的流量,其量程為50SLM到300SLM。
1579A數字控制電路與平衡閥的結合,具有1秒以內的響應時間。 
 
技術參數:
全 量 程:50SLM,100SLM,200SLM,300SLM。
控制量程:2% to 100% 的全量程。
測量精度:全量程的1% (也可配讀數的0.8%或全量程0.2%)
靈 敏 度:全量程的0.1%
熱機時間:小于30Min.
響應速度:小于1Sec.
輸入電壓:20-30VDC@300ma
輸出電壓:0-5VDC
連接器:模擬: 2*9Pin或15Pin Male
             數字: Profibus Female
法蘭接口:Swagelok 8VCR,Swagelok8 VCO,Swage 1/2”等
材質:316 不銹鋼。
 

例: 型號1579A01332LR1BV   
   
校準氣體(SEMI氣體編號)*  
Helium, He                                                  1
Argon, Ar                                                      4
Hydrogen H2                                              7
Nitrogen, N2                                              13
Oxygen, O2                                                15
   
流量校準SLM (相當氮氣最大300SLM)
50                                                               51L
100                                                            12L
200                                                            22L
300                                                            32L
   
裝配件  
Swagelok 8 VCR                                       R
Swagelok 8 VCO                                       G
12 mm Swagelok                                      M
½” Swagelok                                              S
DN 16 KF                                                    D
Swagelok 4 VCR (僅有50 slm)               V
   
閥  
常閉                                                              1
   
連接器  
模擬15 針 D                                               B
數字Profibus DP                                        4
   
密封材料  
Viton                                                            V
Buna-N                                                       B
Neoprene                                                   N
Kalrez                                                          K
   
固化軟件 (僅有Profibus) XX 
 
1579A電纜  
型號CB147-12-10用來將1579A 9 針 D型連接到PR4000, 146, 186, 246, 167, 647
型號CB259-12-10用來將1579A 9 針 D型連接到PR4000, 146, 186, 246, 167, 647

 

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