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產品分類:MKS質量流量控制器
模擬式; 流量范圍:10~5000 sccm; I/O:
壓力:0-10 VDC,
標準(0-5 VDC optional);
流量:0-5 VDC:
精度:壓力:±0.5% of reading.;
壓力控制:±0.2% of F.S.;
流量:±1.0% of F.S.
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