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產品分類：BROOKS質量流量控制器 / Brooks質量流量計
MF51S防爆型數模橡膠密封質量流量控制器
防爆型數模橡膠密封;
流量范圍:0.003-30 slpm;
精度:讀數的±0.5% 和±0.1%FS(最大流量100 slpm);
其它流量范圍,讀數的±0.7% 和±0.2%FS計量
單位：臺 產地：美國 交貨周期：6周 保期：一年 驗收標準：OEM標準
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