|
CDG100A/CDG100A-S薄膜電容式壓力傳感器屬于高精度溫度補償型真空機，在苛刻的生產環境中具有穩定的性能，先進的數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調零功能和設點調整，抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有卓越的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。傳感器屏敝保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了EMC兼容性，長期穩定性和溫度補償性。
優 點
◆ 全刻度范圍從100毫乇…1000乇
◆ 電源接通后的快速穩定性
◆ 暴露大氣壓后的快速恢復性
◆ 抗腐蝕性陶瓷傳感監測器
◆ 卓越的長期訊號穩定性
◆ 溫度補償
◆ 保護傳感器防止污染
◆ 一鍵調零功能
◆ 寬范圍電源
◆ 2個設點（選項）
◆ RS232接口（選項）
用 途
要求高的應用條件下，精確而快速的壓強測量:
◆ 用于刻蝕，CVD, PVD, ALD半導體制造設備
◆ 資料貯存和顯示器制造設備
◆ 工業真空設備
◆ 常用高精度真空測量
|