|
流量范圍：0.01-30 SLPM 最小流量范圍：0.01SLM
韓國萊因泰可( LINE TECH )原裝進口高精度氣體質量流量計/氣體質量流量控制器，廣泛應用于所有工業，氣體混合及分析 ，半導體工業，光纖，燃料電池，反應器系統，氣體的混合系統。產品設計堅固、耐用，且經濟。
優 勢：
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（90公斤）
l 量程范圍廣：0.01SLPM ~ 30SLPM 之間可選\
l 兩種輸入輸出信號：0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式：+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接： 15 針（D型插頭）
l 快速響應時間兩種：＜ 1 秒 or ＜2秒 可選
l 高重復性（±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″
VCR ： 1/4″
規 格：
|
型號
|
M2030VA
|
|
流量范圍（N2)
|
0.01~30 SLPM
|
|
響應時間
|
＜1 秒
|
|
精確度
|
±1%
|
|
重復精度
|
±0.25%
|
|
輸入輸出信號
|
0~5Vdc
|
|
供電
|
+15Vdc or +24Vdc,350mA
|
|
最大工作壓力
|
15 Bar
|
|
最大工作溫度
|
0~50℃
|
|
漏率
|
1×10-9 atm.cc/sec
|
|
控制范圍
|
2~100%
|
|