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量程10 SCCM-3000 SLPM，優于2 %的精度，控制范圍廣，優于100 ms響應時間，適用于高壓應用
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21Q系列氣體質量流量控制器，同我們的標準控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 psia）的應用環境進行快速控制響應。這款高壓應用質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能夠快速實現穩定控制。?
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應用及案例
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● 大學/研究所? ? ? ? ? ? ? ? ?● 環境監測
● 真空行業及鍍膜? ? ? ? ? ?● 工業爐窯
● 半? 導? 體? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 汽車制造
● 光? ? ? ?伏? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 燃料電池
● 計量校準? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 過程工藝氣體測量
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產品特色
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● ?多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
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● ?連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
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● ?耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
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精度升級
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量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度? ? ? ? ?± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取最大值）
測量和控制范圍? ? ? ? ? ? ?0.1 ~ 100%滿量程
重復性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1%滿量程
質量流量零點漂移? ? ? ? ± 0.01%滿量程/ ℃溫差?
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移? ? ? ? ± 0.01%讀 數/ ℃溫差?
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差
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性能指標
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介質要求??? 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類??? 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
? ? ? ? ? ? ? ? ? 一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量? ? ? ?程? ? 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（詳情請咨詢）
測量和控制范圍? ? 0.5% ~ 100%滿量程
最大顯示流量??? 高達128%滿量程（取決于氣體）
最大可控流量??? 102.4%滿量程
顯? 示? 屏??? 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器
顯示方式??? 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精? ? ? ?度??? ± 2%滿量程??精度升級見上段
重? 復? 性??? ± 2%滿量程
零點漂移&滿量程漂移??? 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應時間??? 優于100 ms
預熱時間??? ＜1s
標定工況??? 25 ℃&1Atm（其它標況可調）
工作溫度??? -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）
溫度精度?? ?± 0.75℃
工作濕度??? 0 ~ 100%
最大工作壓力??? 320 psia
滿量程壓損??? 參考詳細壓損表
數據刷新頻率??? 數字信號40Hz@19200波特率；
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率??? 10Hz
數字輸入/輸出信號??? RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模擬輸入/輸出信號??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度?? ?在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 ????12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）
供電電流?? ?0.250 A
電氣接口??? DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏）??? 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He?
材? ? ? ?質??? 303和302不銹鋼、Viton?、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯系我們。
過程連接??? 詳情參考壓損表
安裝方式??? 對位置無要求
防護等級??? IP40
認? ? ? ?證??? ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
?*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
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選項配件
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（需另行訂購）
● ?過程端口接頭和過濾器
● ?電源
● ?通訊線纜和轉換線纜
● ?BB3和BB9多點式集線盒
● ?Flow Vision軟件
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包裝清單
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● ?MCQ系列高壓氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
● ?NIST可溯源校準證書
● ?艾里卡特操作說明書
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尺寸詳圖
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尺寸壓損
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滿量程質量流量控制器
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滿量程壓損（PSID）
排氣到大氣中
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機械尺寸1
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過程連接2
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10 SCCM ~ 50 SCCM
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1.0
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4.4''H x ? 3.4''W x 1.1''D
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M-5?（10-32）（內螺紋）
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100 SCCM ~ 500 SCCM
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1.0
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4.6''H x ? 3.6''W x 1.1''D
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1/8'' NPT?內螺紋
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1 SLPM
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1.5
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2 SLPM
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3.0
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5 SLPM
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2.0
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10 SLPM
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5.5
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20 SLPM
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20.0
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50 SLPM
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9.0
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5.7''H x ? 7.7''W x 2.3''D
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1/4'' NPT?內螺紋
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100 SLPM
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2.6
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250 SLPM
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4.6
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6.0''H x ? 7.7''W x 2.3''D
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1/2'' NPT?內螺紋
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500 SLPM
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6.5
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6.0''H x ? 7.3''W x 2.3''D
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3/4'' NPT?內螺紋
（A 1-1/4” NPT?內螺紋可選過程連接
可用于2000 slpm?流量計）
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1000 SLPM
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14.0
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1500 SLPM
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17.0
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2000 SLPM
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28.6
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6.0''H x ? 8.1''W x 2.9''D
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3000 SLPM
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16.8
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6.0''H x ? 8.9''W x 2.9''D
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1-1/4'' NPT?內螺紋
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注1、公制數據見圖紙；
2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可根據要求連接VCR和SAE。
3、與M-5?（10-32）外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內螺紋接頭一起裝箱。
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產品大圖
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