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Alicat質量流量控制器

ALICAT質量流量控制器21系列

產品分類:Alicat質量流量控制器

產品介紹

 

 

應用及案例

 

● 大學/研究所           ● 環境監測

● 真空行業及鍍膜     ● 工業爐窯

● 半 導   體               ● 汽車制造

● 光       伏               ● 燃料電池

● 計量校準               ● 過程工藝氣體測量

 

 

產品特色

 

 

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等

●  多參數控制,如體積流量、質量流量和壓力

●  標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板

●  可選高精度:優于0.5%

●  可測范圍廣,0.01~100%

●  響應時間快,優于100 ms

●  內置98種氣體

●  可現場編輯混合氣體(最多5種成分),并最多存儲20種混合氣


 

 

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